Flame ionisation detector

Détecteur à ionisation de flammes


The detector has an ignition device (7) provided for combustion gas. A combustion chamber (4) in which the sample gas provided by an inlet (11) is ionized. A voltage is applied to electrodes (8) for production and measurement of an ion stream. The detector is formed as an integrated planar system from a middle substrate (1), a lower substrate (2) and an upper substrate (3) connected with each other. A part of the chamber is completed by recesses in the substrates (2, 3). The substrate (1) is made of silicon, and the substrates (2, 3) are made of glass e.g. borosilicate glass.
Der Flammenionisationsdetektor, der eine Zuführung und eine Zündeinrichtung (7) für das Brenngas, eine Zuführung für das Probengas, eine Brennkammer (4), in der das Probengas durch die Flamme ionisiert wird, und Elektroden (8, 1) aufweist, an die zur Erzeugung und Messung des Ionenstroms eine Spannung angelegt wird, zeichnet sich dadurch aus, dass er als integriertes planares System aus mindestens drei parallelen miteinander verbundenen plättchenförmigen Substraten (1, 2, 3) aufgebaut ist, die mit Verfahren der Mikrosystemtechnik bearbeitet sind, wobei ein mittleres Substrat (1) Düsen (5, 6) für die Gase und die Zündeinrichtung (7) und eine Ausnehmung aufweist, die einen Teil der Brennkammer (4) bildet, die durch Ausnehmungen in den benachbarten Substraten (2, 3) vervollständigt wird und durch diese Substrate (2, 3) im Wesentlichen zusammen mit dem Düsenbereich verschlossen ist, und die benachbarten Substrate (2,3) Zuführkanäle (10, 11) für die Gase aufweisen.




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